天津无尘室净化工程 思卡恩

净化工程内的噪声级，应符合下列要求：

a、净化工程内的噪声频谱限制，应采用倍频程声太级；各频带声压级值不宜大于1的规定。

b、净化工程的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。

c、净化工程内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，应设置隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。

d、净化工程内的净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。

e、净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：（1）总风管为6～10米/秒。 （2）无送、回风口的支风管为6～8米/秒。 有送、回风口的大风管为3～6米/秒。

净化工程要控制温湿度具体措施

洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，天津无尘室净化工程，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。净化工程要控制温湿度具体有什么措施？

净化工程要控制温湿度具体措施

然而对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：

洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

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