爱德华真空泵维修工厂 爱德华真空泵维修 东欧真空设备有限公司

真空泵维修的相关问题。

1，必须先泵浦外观现象是否有破损，如有破损需告知使用单

2，维修之前先了解使用单位，使用制程是什么，以便于后续处理的方式做铺垫

3，维修之前先检查泵浦是什么故障，爱德华真空泵维修厂家，如果是卡死就不宜通电，以免把电机烧毁

4，如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障，维修人员可以拆掉名pai那里，用扳手转动试试，如果能转动证明没有卡死，我们可以通电检查，如果卡死我们维修人员不适宜通电，以免电机烧毁

5，爱德华真空泵维修选哪家，维修之前检查电源部分，在没有确定之前，先问问使用单位电压是多少，有点没有图纸的，就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准，爱德华真空泵维修工厂，确定电压对了，方可通电运转

iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。

可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。

iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。

EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构，爱德华真空泵维修， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。

适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点

的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中

通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动

在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭

大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞

一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm

Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计，适用于多尘应用。

清洁/干燥

爱德华真空泵维修工厂-爱德华真空泵维修-东欧真空设备有限公司由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司是广东 东莞 ,真空泵的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在东欧真空领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创东欧真空更加美好的未来。