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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2022-11-09 02:08:23
真空泵维修的相关问题。
1，必须先泵浦外观现象是否有破损，如有破损需告知使用单
2，维修之前先了解使用单位，使用制程是什么，以便于后续处理的方式做铺垫
3，维修之前先检查泵浦是什么故障，如果是卡死就不宜通电，以免把电机烧毁
4，如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障，维修人员可以拆掉名pai那里，用扳手转动试试，如果能转动证明没有卡死，我们可以通电检查，如果卡死我们维修人员不适宜通电，以免电机烧毁
5，维修之前检查电源部分，在没有确定之前，真空泵维修报价，先问问使用单位电压是多少，有点没有图纸的，SC60D真空泵维修，就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准，确定电压对了，真空泵维修，方可通电运转
iXH 干式工业级真空泵系统
iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。
iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。
真空泵要处在通风位置或是房间内配有减温设备还可以，缘故也是一样的，只是为了给真空泵的导热性能更强，尽可能减少真空泵的操作温度。耗材立即更换。在其中重要的也是：油雾分离器（排气管过滤芯）跟油。这几种耗材一定要及时的更换。排气管过滤装置如果一旦发生损毁或者其它产品质量问题时第yi时长更换！油出现颜色变色、沉淀增加、出现了乳状液的现象时不能只是局限在给油日常保养，全部都要更换真空泵油
舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在 空闲期间多减少 92% 的功耗
高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间
本着十多年的真空泵维修经验，从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。其实到后修不好，真空泵维修厂，反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD