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- 发布时间
- 2022-11-09 15:20:01
在洁净棚中FFU是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。洁净棚具备多种洁净等级和空间搭配,因此洁净棚中的FFU可提供局部高洁净环境的空气净化设备。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成,外壳喷塑。洁净棚既可悬挂,又可地面支撑,结构紧凑,使用方便。可以单个使用,也可多个连接组成带状洁净区域,以降低成本。
洁净棚的优点:风机从FFU顶部将空气吸入,经初效过滤器、过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均流层,使洁净空气气流呈垂直单向流,从而保证了工作区内所要求的洁净度。可单独使用,也可组合使用;模块化结构,提高洁净度等级容易,扩展性强,且重复利用价值高;
净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成,外壳喷塑。该产品既可悬挂,洁净棚供应,又可地面支撑,洁净棚报价,结构紧凑,洁净棚,使用方便。可以单个使用,也可多个连接组成带状洁净区域。?洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。?
湿度过高产生的问题更多,相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,洁净棚定制,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
不同等级的洁净棚换气次数一般是多少?
洁净棚主要用于控制室内污染,构造简单、系统建造成本,之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
层流洁净车间的送风量的确定有着非常重要的意义,一般按室内断面风速确定。
不能盲目按照换气次数进行设计风量,要考虑房间及工艺余热、余湿。否则刚开始风量也许能满足温湿度要求,系统运行一段时间后就不会效果那么好了。