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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2022-11-15 10:52:02
真空泵维修的相关问题。
1,必须先泵浦外观现象是否有破损,如有破损需告知使用单
2,维修之前先了解使用单位,爱发科真空泵维修,使用制程是什么,以便于后续处理的方式做铺垫
3,维修之前先检查泵浦是什么故障,如果是卡死就不宜通电,以免把电机烧毁
4,如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障,维修人员可以拆掉名pai那里,用扳手转动试试,如果能转动证明没有卡死,我们可以通电检查,爱发科真空泵维修厂,如果卡死我们维修人员不适宜通电,爱发科真空泵维修加工,以免电机烧毁
5,维修之前检查电源部分,在没有确定之前,先问问使用单位电压是多少,有点没有图纸的,就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准,确定电压对了,方可通电运转
iXH 干式工业级真空泵系统
iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级,为严苛制程能力 树立了新标准,它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。
iXH 泵采用模块化设计,符合 当今的制程要求,并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。
机械真空泵常见的故障之一,主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上,其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化,密封失效,从而导致漏油。
解决办法:更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫,维修完成后,注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵,并用溶剂清洗注油口处的滤网,以保持油箱的清洁。
抽不到真空泵的极限真空度:首先检查真空系统的气密性,看是否有轻微漏气。其次应打开气镇,让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽,排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
应用
一般清洁泵送
电子扫描显微镜 (SEM)
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
先进的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法,可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视
泵系列
下一代完全无油的干式涡旋泵,可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能,抽取速度更高的,极限压力更低,功耗更低,噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了新的端部密封技术,显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能,nXDS 泵可完全进行现场维修。
nXDS6i
nXDS10i
nXDS15i
nXDS20i
nXDS-C
爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度,同时结构相对来讲比较复杂,所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装,下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具,安装时不得用锤直接敲击轴承,需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时,应先检查轴承质量、配合尺寸偏差等是否符合要求。
轴承内圈端面应与轴肩靠紧
轴承采用加热安装时,加热可采用油浴,爱发科真空泵维修厂家,油温不超过100-120度,轴承油浴时间10-15Min,严禁用火焰直接加热轴承
适合清洁/干燥应用的 Edwards RV 泵的主要优点
的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件,可确保在高流量下,油保持在泵内
的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态,从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用,可以安装一个可选的油回收套件,以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂