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- 发布时间
- 2022-11-15 10:52:03
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，莱宝DV650真空泵维修厂家，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
我们这里提到的真空泵维修是指真空泵腐蚀的维修。真空泵维修的方法之一就是在真空泵表层涂上有机涂层，该方法非常有效。
有关真空泵的工作原理、真空泵价格和真空泵维修等知识就为大家介绍到这里了，如果您还想了解更多有关真空泵的知识的话，就请继续关注我们。
iGX 干泵真空系统
iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了世界上受欢迎的干泵之一，目前已在大多数 的 300mm 工厂中安装了 20，000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，同时包括一套的网络选项， 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术，莱宝DV650真空泵维修， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 iL/iH 干泵相比）。
基于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
真空泵维修中，应注意下述几点:
①该泵制造精度较高，不是非常必要则不必拆开，以免j修不当，降低精度。当然维修工作者应当提高自己的技术水平，在该泵技术性能变差时，应及时修理，h能定期(一年)检修。
②检修时，将泵从真空系统拆下后，开始检查试抽，确认必须拆泵修理时，可按下列步骤进行:取去护翠，拆下三角皮带及大皮带、排气筒，莱宝DV650真空泵维修报价，松开各进气嘴处的压盖，把油放干净后，拆去箱盖和油密封室，取出主轴(不必拆断链条)，然后抬出左右机座
应用
一般清洁泵送
电子扫描显微镜 (SEM)
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
主要特性和优势
真空外壳中 不需要使用润滑剂，完全密封可保证的清洁和干燥真空， 防止交叉污染
无大气压到 真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能 以更低温度运行，使用时间更长
简单的单侧 滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需程度的 特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本， 尽可能延长正常运行时间
改进了电机和 传动效率，可降低功耗和运行成本
先进的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视
泵系列
下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽取速度更高的，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，莱宝DV650真空泵维修保养，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可完全进行现场维修。
nXDS6i
nXDS10i
nXDS15i
nXDS20i
nXDS-C