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- 发布时间
- 2022-11-20 13:25:45
真空泵维修的相关问题。
1，必须先泵浦外观现象是否有破损，如有破损需告知使用单
2，维修之前先了解使用单位，使用制程是什么，以便于后续处理的方式做铺垫
3，维修之前先检查泵浦是什么故障，如果是卡死就不宜通电，以免把电机烧毁
4，如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障，维修人员可以拆掉名pai那里，用扳手转动试试，如果能转动证明没有卡死，我们可以通电检查，莱宝DV5000真空泵维修保养，如果卡死我们维修人员不适宜通电，以免电机烧毁
5，维修之前检查电源部分，在没有确定之前，莱宝DV5000真空泵维修报价，先问问使用单位电压是多少，莱宝DV5000真空泵维修厂家，有点没有图纸的，就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准，确定电压对了，方可通电运转
iXH 干式工业级真空泵系统
iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。
iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，莱宝DV5000真空泵维修，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。
真空泵维修对零件更换的要求
真空泵维修过程中，零部件的精度及其质量对泵浦维修后的性能尤为重要，对此维修人员一定要对机械结构及其原理不是了解，同时注意其零件之间的精度及配合公差，因为不同的质量的配件及其型号规格精度都对泵浦组装后的性能产生重大的影响。
主要特性和优势
双活塞设计 | 便于维修，部件更少，各个型号之间的部件可相互替换，大间隙设计优化了在要求严苛的应用中的性能
外部平衡 | 极低的振动级别，便于维修
三轴承设计 | 坚固耐用的重型设计，活塞和滑片使用寿命更长，与市面同类型产品相比维修间隔平均时长增加高达 50%，密封件寿命更长
密封阀盖 | 使用寿命更长，低噪音，易于维护，部件之间可相互替换，适用于严峻环境的哈氏合金弹簧以及复位弹簧设计
O 形圈密封件 | 易于维修，维修间隔更长，泄漏风险降低
集成式组装性能 | 减少泄漏通路，便于安装配件
低转速 | 转速小于 500 RPM，比市面同类型产品慢达 50%，损耗更少，旋转损耗泵的寿命更长，处理微粒应用的能力更强
全泵速可达 1 Torr | 减少循环时间
较低的极限真空 | 极限值小于 0.01 Torr
高达 600 Torr | 持续高压泵送，具有适用于多种应用的灵活性，操作简单
泵系列
Stokes 212J
Stokes 412J
Stokes 612J
本着十多年的真空泵维修经验，从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。其实到后修不好，反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD