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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2022-11-22 02:55:17
真空泵维修真空泵常规问题修复,就是指在真空泵出现问题后的处理方法。维修问题分为很多,一般未达到报废情况都可以进行修复。既然是的进行修复就不仅仅是简单的拆开、更换耗材再组装起来。真空泵有很多狠心的维修技术,其中主要的就是间隙的调整。不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时,就得依据损害配件来确定是否可进行维修
泵系列
ES 系列有五种选配型来满足不同要求。 它们可以单独使用,也可以与 EH 系列机械增压泵 (提供从 EH250 到 EH4200 的选配型)配合使用,爱发科真空泵维修厂,以便同时提和 极限真空。
ES65
ES100
ES200
ES300
ES630
泵附件
提供一系列附件以 便于控制 ES 泵
油位开关
用于远程监控 油位,以防对泵造成潜在损坏。单独提供或 与 PT100 或 120?C 传感器配合提供。
温度 传感器
用于监控油温的 PT100 和 120?C 温度传感器。
入口 过滤器/入口承接罐
入口过滤器可阻止碎屑进入泵机构,爱发科真空泵维修工厂,因而可用于大限度地 延长正常运行时间。入口承接罐可保护泵不受大量可冷凝蒸汽 的损害。
真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项,希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项:
1、将多级泵运到现场,找平顶座时不必卸下水泵和电机;
2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上,在地脚螺钉附近垫上楔形铁,将顶座垫下约20~40mm,真空泵作校平先填充 水泥浆之用;
3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度,找平先用水泥浆填充顶座,待水泥浆做先再检查一下水平度;
应用
半导体的目标应用包括:
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括:
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔
主要特性和优势
针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小,爱发科真空泵维修厂家,高度更低,便于在任何工厂中安装。
符合主要的,包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。
真空泵维修应经带保持清洁,真空泵上不得放置其它物件,
注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换,
应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵,每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中,真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化,影晌真空泵的性能,因此,爱发科真空泵维修,需要根据具体情况定期换油。
工作环境更好,环境影响低:
安静运转
操作简单:
智能且易于使用控制
无污染且不需要处理油:
采用密封结构,实现了无润滑剂真空环境
低拥有 成本:
长维修间隔和低功耗
更快的制程:
出色的蒸汽处理能力