智能流体数字控制模块 晓韬科技公司 智能流体数字控制模块

气体质量流量单位

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，智能流体数字控制模块报价，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (27****K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?

质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。

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质量流量控制器在高压条件下如何使用?

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小，智能流体数字控制模块价格， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1，智能流体数字控制模块， 是要选择耐压符合要求的MFC; 2， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3，智能流体数字控制模块公司， 要在MFC气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点， MFC就能够在高压条件下稳定工作。

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