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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2022-11-29 03:52:13
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,普旭真空泵维修哪家便宜,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以,原因也是一样的,只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是:油雾分离器(排气滤芯)和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换!油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,普旭真空泵维修,同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,普旭真空泵维修选哪家,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
EM 系列小型油封旋转式叶片电磁真空泵
EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵,普旭真空泵维修工厂,抽速为 0.7 到 28 m3/hr,具体取决于型号和级数。这些泵结构紧凑,使用时非常安静,具备先进的润滑回路,可靠性高,配有各种附件,可以满足您的特定应用需求。
特性和优点
E2M0.7 的噪声级非常低,仅为 43dB(A)
该泵设计合理,可进行可靠的长期运行
紧凑的尺寸
低能耗
较低的工作温度可将设备上的热负荷降到程度
该泵为独立式装置
电机完全封闭,由电机冷却风扇进行冷却并由热过载设备保护
通过全高度 O 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
气镇阀具有水蒸汽输送能力
经过检验,符合 EN61010、CSA、C22.2 和 UL61010 标准
真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项,希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项:
1、将多级泵运到现场,找平顶座时不必卸下水泵和电机;
2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上,在地脚螺钉附近垫上楔形铁,将顶座垫下约20~40mm,真空泵作校平先填充 水泥浆之用;
3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度,找平先用水泥浆填充顶座,待水泥浆做先再检查一下水平度;
应用
半导体的目标应用包括:
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括:
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔
主要特性和优势
针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小,高度更低,便于在任何工厂中安装。
符合主要的,包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。