洁净工程 净化工程 中发净亿方

洁净室中的温湿度控制

相对湿度在50%时易生锈。湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳湿度范围为35-45%。对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。

　净化工程施工要注意哪些细节？

　　净化工程是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，而所给予特别设计之房间。

　　一、新风柜新风要占总风量的30%。这节省了运行成本，还要考虑一个风量损耗的问题，风管和空气过滤器都会消耗一部分的风量，增加新风量。

　　二、注意送风风管保温，保温有两方面作用，一是节能环保，净化工程哪家好，减少温度损耗，大大节约企业运行成本。

　　三、车间生产环境，如果车间内有腐烛性气体，腐烛性液体。一定要对防腐，防酸碱处理，防止损坏地面，影响无尘车间洁净度。

洁净室必须将风速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的范围里，净化工程安装，以便使中断的单向流能快速恢复，洁净工程，充分稀释障碍物周围紊流区的污染。用风速可以正确地表示出单向流，净化工程，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍(10到100倍)。

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