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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2022-12-02 14:25:58
在真空泵维修时,普旭真空泵维修公司,特别是在维修环境不是很好的地方,需要我们的维修人员尽力去保证设备的清洁。另外,要正确选用清洗剂,禁止使用碱性清洗剂,防止零部件腐蚀生锈,尤其是那些精密零部件。
爱德华旋片式机械真空泵是我国分析实验室中常见的真空泵之一,普旭真空泵维修价格, 一般用作质谱仪真空系统的前级真空泵、用作色谱仪的进样真空泵以及其它真空系统,普旭真空泵维修哪家便宜, 广泛应用于生物、医学、法医、石化、农林、生命科学、航空航天等领域。
应用
目标应用包括:
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),普旭真空泵维修,通常 每 5 年维修一次,地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
后来没有办法爱德华真空泵维修了肯定是不能用了,就只好送到我们公司进行回收,尽量将损失减到yi。所以说找爱德华真空泵维修厂家就要找的,随意选择 贪图便宜只会让自己吃亏。
功能与优势
优化了设施消耗
无需预防性维护
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理
在节功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的
轴杆一体化设计无需电机联轴器,第五抽排级免除对的需求,也避免了颗粒堆积,两者均减少了总体占地空间
泵系列