质量流量控制器厂家 晓韬科技有限公司 质量流量控制器

气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过？

可以使用惰性气体接到MFC进气端，然后将出气口接一根软管再通进水里，如果软管口有气泡冒出，证明MFC是有气体通过的，不过需要注意防止液体倒吸进MFC内，也可以用手将出气口堵死，质量流量控制器价格，观察瞬时流量是否有下降，如果有下降，也证明有气体通过，此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。

气体质量流量控制器工作原理

气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道，质量流量控制器厂家，其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构，可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，质量流量控制器，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经由放大后输出，就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC的功能。

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