爱德华真空泵维修 爱德华真空泵维修 东莞东欧真空设备公司

维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁。抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

爱德华真空泵维修是门的技术，不是换换轴承、换换油封那么简单，客户不要把您真空泵给一家不的厂家维修，很有可能导致真空泵提前报废，爱德华真空泵维修，从而给您的生产带来损失。

有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以，原因也是一样的，只是为了让真空泵的散热性能更好，尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是：油雾分离器（排气滤芯）和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换！油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养，要全部更换真空泵油

适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP

IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。

IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本，爱德华真空泵维修价格， 有助于保护环境。

适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，爱德华真空泵维修选哪家，同时减少能耗。

3 万亿次循环 MTBF

与原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%

提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件

真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。

一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。

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