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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2022-12-05 14:54:41
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
真空泵维修不仅是单纯的零件更换，还涉及真空泵转子，叶片，轴位等精度高，难度大的修复工序，对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内，这些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转，所以选择好的真空泵维修厂家至关重要。
真空泵才能正常运转。另外， 启动新泵或真空泵有相当一段时间没有运行时，爱发科真空泵维修公司， 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm ) ， 这个下降表明泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时，爱发科真空泵维修，应及时注油至工作刻线范围内。
真空泵维修为主要的注意点我们需要知道，在当流量计浮子没起来时，说明冷却水管被堵塞，爱发科真空泵维修加工，这时将水管快接头用压缩空气吹入管道，观察浮子是否被吹起来，正常情况下浮子应该在上端，尤其在机台的报警温度在1200C，报警功率在3500W，停机功率在5000W，要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀，而且材质为铸铁，比较脆，容易碎裂，爱发科真空泵维修厂，碎裂后对泵体造成严重的磨损，严重的甚至造成泵的报废，影响生产。
应用
冶金
镀膜
干燥
太阳能
真空腔抽空
主要特性和优势
资金 成本低，维护要求，由此其拥有成本也
减少 用户干预次数
降低 易耗品成本
无 需除油
不 会向大气中排放废油
抽取速度 非常稳定，为制程带来可重复性
大气压 下持续泵送
能够 处理微粒
干式 操作消除了反流，从而使反应合金免受污染。
不易察觉的 噪声级
无 难看的油溅
无 危险油蒸汽