常州温退火炉 吴江程运自动化

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{ */}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，温退火炉，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。

怎么才能检查出干燥箱漏气的问题？

干燥箱很难排查出来的即是漏气，需求在箱体内倒入一部分水，然后翻转箱体，假如某个方位有气泡呈现就阐明那即是内丹的漏气点，与自行车轮胎漏气有那么点类似，那么怎样来补漏气点呢，在有条件的情况下用亚弧焊焊一下，别的的方法即是在真空炉内打入氮气在有也许的当地放下泡沫若有泡沫接连胀大就阐明有缝隙；别的一个方法是准备好洗衣粉水和打针器，拿打针器对也许缝隙的当地打针洗衣粉水，仔细观察假如打针处有冒泡点阐明这个点是漏点。

吴江程运自动化烘干设备有限公司是一家集技术开发研究、生产、销售、售后服务于一体的企业，生产多种电热机械设备。

产品种类：烘箱、烤箱、电烘箱、电热烘箱、恒温烘箱、电焊条烘箱、可编程烘烤箱、精密烘箱、去氢烘箱、真空烘箱、防爆烘箱、浸漆干燥箱、电热鼓风干燥箱、热风循环烘箱、新型节能环保电热烘箱、节能流水线烘道等大型烘箱设备。该设备采用新的变频技术和热导热原理，热能再生利用从而达到高l效节能省电的效果。的风道及发热设计使工作室内具有温度均匀、效l率高、升温快、自动超温报警、温度精l确等特点。

工业烘箱

供工矿企业、化验室外、l科研单位等作干燥、烘焙、熔腊、灭菌之用。

??箱体结构:

??1、工作室采用优l质钢板或不锈钢板。

??2 、微电脑智慧控温仪，具有设定，测定温度双数字显、定时、功率抑制和自整定功能。

??3 、热风循环系统由低噪声风机和风道组成，工作室内温度均匀。

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