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2022-12-06 14:25:26
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真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。




ES 单级旋转式叶片泵

Edwards ES 系列泵代表了 单极油封旋转式叶片泵的重大进步。

增强的 性能:

同类的极限真空级别和更宽的工作压力范围

稳定性:

稳定的真空性能,无压力波动

便捷性:

组合式 ISO/BSP 连接,易于在现场维修

灵活性:

可单独使用,普旭真空泵维修哪家好,也可与机械增压泵一同使用,适用于各种应用




真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后,普旭真空泵维修厂家, 维修方法是更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。

一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。有条件的对管中同样进行清理,确保管路畅通。




有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,普旭真空泵维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,普旭真空泵维修多少钱,只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以,原因也是一样的,只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是:油雾分离器(排气滤芯)和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换!油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油




适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP

IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。

IPUP2 小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。

适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。

3 万亿次循环 MTBF

与原始 IPUP? 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70%

提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件




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