潽拓光电 日本shimadzu分子泵的维护

广州潽拓光电科技有限公司——日本shimadzu分子泵的维护

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分子泵不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵内。

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分子泵广泛应用于高能加速设备、等离子体物理空间研究、原子束分子束系统、表面物理和分析仪器以及电子元器件制造等涉及真空技术的半导体产业、电子信息产业、航空航天工业及科研事业等领域

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一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，日本shimadzu分子泵的维护，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗真空泵整个泵 腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用qi油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。

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