三轴加速度传感器 加速度传感器 航新仪器展示

加速度传感器是测量线加速度的高精度传感器，在惯性导航系统中具有重要的作用。然而石英挠性加速度计在使用时容易导致石英摆片挠性梁的断裂，磁感应强度容易受时间、温度等环境因素的影响导致测量产生不稳定性现象。石英挠性加速度计抗振性能良好，其测角精度为角秒级。主要用于石油钻井的随钻测斜系统和连续测斜系统中，并可广泛用于其它工作环境恶劣的系统中。石英挠性加速度计高精度，用于各种物体的姿态测量和导航。

加速度计是惯导系统中的重要元件之一，用来测量沿其输入轴作用的常值和低频加速度，当前无论在航天航空，还是在其它技术领域都得到了广泛应用。近年来随着型号及其应用领域的发展，对加速度计的精度特性要求也在不断提高。依照其应用对象和使用环境，主要性能要求大体在如下范围:测量范围-g~几十g;阈值10-5g~10-6g;输出特性线性度10-2%~10-4%;偏值10-3g ~10-5g(g———自由落体加速度)。要求加速度计在整个服役期间即使有不同的工作影响，其指示特性应该保持不变。因此，三轴加速度传感器，在设计加速度计时必须考虑因温度变化、仪表的机电参数和电子部件参数随时间变化、受到磁、辐射和其它干扰以及对象随线加速度和角加速度运动而出现误差的可能性。为了消除这些误差，除了优化仪表的结构和系统外，还要研究仪表的校正方法，建立误差模型以便在对象的数字计算机中进行算法补偿。加速度传感器是具有先进水平的新型传感器，三轴加速度传感器价格，具有结构简单、精度高、灵敏度高、长期稳定性好、体积小巧、功耗小、成本低等优点，加速度传感器，是对加速度、速度、距离、摇摆、振动、倾斜等物理量敏感、测量、控制方面的换代产品。

随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中，并可用于高精度的静态角度测量系统中。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，三向加速度传感器，且其结构与工艺大大简化。石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计。石英挠性加速度计结构轭铁由温度系数低，导磁性能好的软磁材料组成。挠性的材料为温度性能的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性，但造价很高。加速度传感器产品广泛用于航空航天高精度导航系统等。片

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