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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2022-12-13 15:40:00
维修完成后,注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵,并用溶剂清洗注油口处的滤网,以保持油箱的清洁。抽不到真空泵的极限真空度:首先检查真空系统的气密性,看是否有轻微漏气。其次应打开气镇,让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽,排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
爱德华真空泵维修是门的技术,普旭螺杆真空泵维修厂家,不是换换轴承、换换油封那么简单,普旭螺杆真空泵维修,客户不要把您真空泵给一家不的厂家维修,很有可能导致真空泵提前报废,从而给您的生产带来损失。
真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项,希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项:
1、将多级泵运到现场,找平顶座时不必卸下水泵和电机;
2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上,在地脚螺钉附近垫上楔形铁,普旭螺杆真空泵维修工厂,将顶座垫下约20~40mm,真空泵作校平先填充 水泥浆之用;
3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度,找平先用水泥浆填充顶座,待水泥浆做先再检查一下水平度;
应用
半导体的目标应用包括:
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括:
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔
主要特性和优势
针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小,高度更低,便于在任何工厂中安装。
符合主要的,包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。
真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律,通常采用以下两类典型的维修方式。
1、事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动,是一种古老的维修方式,仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。
2、预防维修
预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂,以及因发生故障所造成的经济损失日益增大,那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要,采用预防维修是不可缺少的。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
且极轻, 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000:紧凑型低能量的干 泵,适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用(如晶圆加工、PVD 和 计量)的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建,具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率,从而降低成本并帮助保护环境。