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- 发布时间
- 2022-12-15 02:43:26
洁净室检测静电检测
一、测试目的,静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序,于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处,测量该位置之空气中正离子与负离子的含量,单位是每立方厘米离子数。测量点数: 10 个,或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
洁净室检测的压差
正压差值并非是越大越好,许多理论研究和实践都证明,人员物料通过门时,即便门两侧关门压差高达 1~1Pa,仍难避免随人员、物料向内移动时携带气流将污染带入室内。特别是当门两侧存在温度差别时,门敞开后,即便无人走动,在开口断面部分面积上也存在逆向气流,洁净度检测多少钱,带入空气的悬浮污染物。此外,过高的正压差还会造成洁净室的门既难开启又难关严,门缝气流造成哨声噪音,以及因气流外溢过量而补风量增加,浪费能源和加重各级过滤器负担。
洁净室检测哪方面?
1、浮游菌,少采样点数目对应悬浮粒子采样点数,洁净度检测,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。全部采样结束后,洁净度检测标准,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
2、沉降菌,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,洁净度检测价格,检验培养基是否污染。
3、噪声,测量高度距离地面约1.2米,洁净室面积在15平方以下者,可只测室中心1点;面积在15平方米以上,还应再测对角4点,距侧墙各1米,测点朝向各角。
4、照度,测点平面离地面0.8米左右,按2米间距布点,30平方米以内的房间测点距边墙0.5米,超过30平方米的房间测点距离墙面1米。