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- 2022-12-16 10:21:45
氦质谱检漏仪是如何工作的?氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東,氦气回收设备,并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有-定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。
真空检漏向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入氮气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。极限压力不合格,升压率合格这种情况原因通常出现在粗抽阀到机械泵部分的各个连接管路的焊口及法兰连接或真空泵本身性能。
氦质谱检漏设备检漏过程中,如发现大量氦气进质谱检漏仪,应立即移去吸,防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的,所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果,因此,测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;