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- 2022-12-17 11:11:12
然而在10-9 mbar的超高真空中,同样的过程需要几个小时才能完成,从而保证表面特性研究的正常开展。分子束外延是一种新的晶体生长技术,其方法是将半导体衬底放置在超高真空腔体中,将需要生长的单晶物质分别放在不同的喷射炉中(也在腔体内);分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流,能在上述衬底上生长出极薄的单晶体和几种物质交替的超晶格结构:
环形导轨所用V型滚轮轴承精度等级
环形导轨的直线段和圆弧段,均为精磨导轨,环形滑轨价格,精磨表面的粗糙度为Ra0.8微米;为了保证平滑和精密的传动,配套的V型滚轮所选用的滚轮球轴承为精密轴承,其精度等级为P4级,有些尺寸的精度等级达P2级:
滚动球轴承的精度主要包括尺寸精度与旋转精度。精度等级已标准化,从低到高依次为P0级、P6级、P5级、P4级、P2级;P2级高。中空轴回转工作台消回差结构
回转工作台,环形滑轨作用,可采用同步带传动方式;配合圆弧导轨使用,环形滑轨,可具有很大的中空空间;此种回转工作台,往往也被称为同步带式中空轴旋转平台:
同步带的节距误差得到了精密的控制,环形滑轨定制,和圆弧导轨和同步带轮上的精密加工的齿精密配合;同时同步带中间有V型凸起,可和圆弧导轨和小皮带轮上的V型凹槽紧密配合;上述机械结构设计特点,消除了回转工作台的正反转产生的反向间隙,也就是消除了回差: