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- 2022-12-31 10:16:29
真空泵真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。实际应用中,真空度通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。
真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气乐强-压强(大气乐强一般取101325Pa,水环式真空泵极限压强3300Pa; 旋片式真空泵极限压强约10Pa)
爱德华真空泵紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室,真空泵,能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的小且轻的泵之一。
其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。模式可在空闲期间降低设备使用率,从而降低使用***, 有助于保护环境。
泵装配间隙减的很小,装配时稍有不慎,爱德华EH2600真空泵价格,就装不正,这样由于摩擦发热等原因,就容易在运转中卡死或研坏。所以要认真 细致地装配。在装完后试抽,其真空度用热偶真空计测达82格,由曲线查得相当8×10-3托,爱德华EH1200真空泵订购,麦氏计测达2×10-4托以上。运 转一段时间后真空度还略有提高。
真空泵旋片与转子的装配是很重要的,而转子和泵腔的上切点 间隙、旋片与端盖之间的间隙,即高、低真空室双面间隙和转 子切点间隙是修理和制造中的关键。即使如此,但如果装配不当、泵的材料太差,也是有卡死或研坏的危险的。故应在实践中以试验来决定,不能一律对待。