爱德华复合分子泵 广州潽拓光电 爱德华复合分子泵故障

广州潽拓光电科技有限公司——爱德华复合分子泵

岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。

岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。

我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：

1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干

2、更换了全套陶瓷轴承，油棉及密封件等损耗品

3、马达线圈阻值测量，转子定子间隙测量

4、根据ISO1940/1amp; ANSI S2.19，调整测试动平衡至G0.16标准，

5、测试0-27000rpm启动时间lt;3分钟*测试极限真空值lt;1.0*10－7mbar等

6、持续模拟生产现场测试24小时，

7、0-20KHz震动频谱加速度分析

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广州潽拓光电科技有限公司 二手涡轮分子泵Shimadzu TMP-4203LMC分子泵维修在线咨询

Shimadzu TMP-4203LMC分子泵进气法兰口VG250/ISO250B，爱德华复合分子泵，输送介质清水泵 ，极限压力10-7pa，转速为27600 rpm，岛津TMP-2804LMC二手磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-R04M

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真空度就是指真空的程度，是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。

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