- 发布
- 东莞东欧真空设备有限公司
- 电话
- 0769-83523669
- 手机
- 13392736669
- 发布时间
- 2023-01-08 01:48:51
真空泵维修不仅是单纯的零件更换，还涉及真空泵转子，叶片，轴位等精度高，难度大的修复工序，对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内，这些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转，所以选择好的真空泵维修厂家至关重要。
特性和优点
可靠性
可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑
稳定
无制程污染 - 油和空气反吸保护
性能
长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承
再保证
安心 - 经过多年尝试、测试，普旭螺杆真空泵维修工厂，已经成为工业标准
可靠且稳定 - 高真空性能
爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色，普旭螺杆真空泵维修， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后，普旭螺杆真空泵维修中心， 维修方法是更换老化的密封部件， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧， 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点
的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中
通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计，适用于多尘应用。
清洁/干燥
本着十多年的真空泵维修经验，从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。其实到后修不好，反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD