超高效过滤器：
n 材质说明：
² 制作类型：无隔板超高效过滤器、有隔板超高效过滤器、组合式大风量超过高效过滤器、耐高温超高效过滤器等；
² 滤 料：U15-U17美国HV玻纤滤纸；
² 过滤效率：U15-U17，U15：99.9995%@0.12μm、U16:99.99995%@0.12μm、U17:99.999995%@0.12μm（MPPS）；
² 框 材：铝型材框、铝板折框、镀锌框、不锈钢框；
² 护网材质：喷塑菱形网；
² 密封胶条：EVA、氯丁橡胶；
² 过滤尺寸：依据客户实际要求制定，铝型材参考厚度：46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm（MMPS）;
n 适用场合：
适用于超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合。