天津厂房净化工程 天津厂房净化 华一净化车间装修

有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法

现今社会，无尘净化车间的装修被很多生产型企业所重视，无尘净化车间不仅能对产品的精度、质量、稳定性及成功率等都有显著的作用，同时还能在一定情况下保证工作人员的工作安全。对酸性气体、碱性气体的处理一般都采用湿式洗涤塔技术。对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法。因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大（通常大于11039m3/小时）和浓度低（通常小于25ppmv）的特点，使用其他的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓缩转轮后再吸附或焚烧。

半导体净化车间设计的设计范围

半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），天津厂房净化车间施工，暖通方案（空调设备、风管、水管等），天津厂房净化工程，特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，天津厂房净化，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），天津厂房净化工程施工，废水处理。

洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗，密封性能好。门窗不应采用木质等引起微生物繁殖的材料，以免生霉或变形。门窗与内墙宜平整，不应设门槛，不留窗台。洁净室内的门宽度应能满足一般设备安装、修理、更换的需要。气闸室、货淋室的出入门应有不能同时打开的措施。洁净厂房每层高度应满足洁净室操作面净高和技术夹层布置管线要求的净空高度。需在技术夹层内更换过滤器的技术夹层墙面、顶棚宜刷涂料饰面。

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