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分子泵轴承润滑油的性能必须具备以下三个条件,才能满足泵的工作要求:
a、高速下具备良好的润滑性能;
b、饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压;
c、粘度适当,使之兼有轴承冷却液的作用。
广州潽拓光电科技有限公司——OSAKA真空分子泵
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