创新通恒公司 杂质捕获仪 杂质捕获仪

电子气体中金属杂质的捕集

电子工业用气体统称电子气体，指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体，是微纳电子制造国家安全战略产业的关键支撑材料，其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业 [1] [2] [3]。表1为一些电子工业生产中所常用到的高纯气体 [3]。

近年来，随着微纳电子先进制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展，对电子气体的纯度和一致性要求越来越高，除了应具有5 N (99.999%)以上纯度，还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级，气体的品质要求高度稳定且一致。电子气体的纯度对于半导体器件的质量与成品率影响很大，尤其是气体中的金属杂质，是使半导体产生漏电、晶格缺陷和断线的主要原因

杂质捕获仪

技术参数

1、工作电源： AC 220V±10%，50Hz。2、水浴加热功率： 1000W。3、水浴控温范围： 室温～90℃内可调。4、水浴温度显示： LED数字显示。5、水浴控温精度： ±1℃。6、漏斗控温范围： 室温～90℃内可调。7、漏斗控温显示： LED数字显示。8、漏斗控温精度： ±2℃。9、外形尺寸： 控制箱 390(长)×260(宽)×590(高)；水浴箱 90(长)×290(宽)×370(高)。10、环境温度： ≤35℃。11、相对湿度： ≤85%。12、整机功耗： 不大于1200W。

杂志捕获仪填充柱法

该方法指在聚四氟乙烯管中，装入气相色谱用的填充剂，杂质捕获仪，使样品气通入此柱并捕集金属杂质，然后将填充柱上的金属杂质溶解到酸溶液中，作为样品溶液 [12]。其中，杂质捕获仪多少钱，填充剂的选用是该方法的关键。填充剂要求不能含有金属成分、不能与样品气发生反应且具有耐酸性。通常，杂质捕获仪价格，填充剂可采用高分子聚合物或氟树脂类聚合物等其分别采用两种方法捕集样品气N2-BCl3 (10%)中的金属杂质。填充柱法捕集系统如图3所示，捕集系统先后由填充柱和吸收溶液组成，吸收溶液是为了判断金属杂质是否完全捕集到填充柱中，吸收溶液出口侧的填充柱是为了防止逆扩散的金属杂质进入系统内而设计的；溶液吸收法的捕集系统如图4所示，为了与填充柱法进行比较，该系统先后由吸收溶液和填充柱组成，以判断金属杂质捕集是否完全捕集到吸收溶液中。。

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