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真空仪器要点

一种用于真空仪器的真空进换样装置，包括真空进样机构、真空泵组件以及功率检测器；

所述真空进样机构包括真空箱、位于所述真空箱外的密封盖以及设在所述真空箱内的靶座组件和驱动组件，所述真空箱具有真空腔以及连通所述真空腔的进样孔，所述密封盖用于打开或者关闭所述进样孔的外侧开口，无磁位移台公司，所述靶座组件安装在所述驱动组件上，所述驱动组件用于驱动所述靶座组件移动，当所述靶座组件移动至密封所述进样孔的内侧开口时，无磁位移台，所述靶座组件与所述密封盖将所述进样孔密封形成过渡腔；

所述真空泵组件包括分子泵、前级泵、预抽阀、回气阀、回气管以及预抽管，所述分子泵连通所述真空腔，所述分子泵还连通所述前级泵，所述前级泵通过所述预抽管连通所述进样孔；所述预抽阀设在所述预抽管上，所述回气管连通所述进样孔，所述回气阀设在所述回气管上。

真空系统

该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道，即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

真空系统的应用

1、真空系统广泛应用于半导体工艺中，如真空蒸镀、真空渗透等。

2、真空系统在药品制造中也有重要应用，如真空浓缩、真空干燥等。

3、真空系统在精密机械加工中也有重要应用，如真空锯切、真空焊接等。

4、真空系统在制冷领域也有重要应用，无磁位移台厂家，如真空制冷机组、真空除湿器等。

5、真空系统在飞行装置中也有重要应用，如真空空调系统、真空推进器等。

6、真空系统在设备中也有重要应用，如真空血液脱水机等。

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