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- 安徽雨纯净化工程有限公司
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- 发布时间
- 2023-04-12 01:23:10
半导体、集成电路生产的无尘车间要求:半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有极高的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于超大规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
净化车间的平面规划:净化车间通常包含净化区、准净化区和辅佐区三有些。净化车间的平面安置能够有以下几种方法:外廊环绕式:外廊能够有窗和无窗,兼作观赏和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗有必要是双层密封窗。内廊式:净化车间设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的净化度等级通常都较高,乃至和净化车间同级。两头式:净化区设在一边,另一边设准净化和辅佐用房。中心式:为了节约用地、缩短管线,能够净化区为中心,上下左右被各种辅佐用房和荫蔽管道的空间包围起来,这种方法避开室外气候对净化区的影响,削减了冷热能耗,利于节能。
净化车间龙骨架的选用:由于FFU的风机过滤机组是直接安装在天花板骨架间,为了使过滤器既要更换简便快捷,又要使FFU的风机运行保持平衡,减少安装失衡的机率。如果面积较大厂房的个别净化车间有较高洁净级别的需求,那么势必集中送风的空调机组风量较大,洁净车间,风机压头较高,才能克服风管管道的阻力,以及初效、中效、过滤器的阻力。净化车间风机过滤器单元简称为“FFU”是一个自带送风机(无壳风机)的过滤器送风口,它与其龙骨系统、加压风机、冷却盘管、新风系统以及灯具共同组成了FFU系统。