气体质量流量控制器 晓韬科技公司 气体质量流量控制器

气体质量流量控制器使用注意？

1 加装过滤器

使用气体必须纯净干燥，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。

2 使用腐蚀性气体

流量计通道采用的材料为：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2)，气体质量流量控制器价格，SUS417J1（00Cr30Mo2）， 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下，也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时，应在定货时声明，使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。

3 安装位置问题

本控制器安装时建议保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。

4 阀口密封问题

质量流量控制器的电磁阀是调节阀， 不是截止阀， 不能当截止阀使用， 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后， 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内， 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%， 则应进行维修。

5 标定与不同气体的换算

本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，气体质量流量控制器公司，需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。

气体质量流量控制器对于气体的要求

1，气体必须洁净且没有颗粒物，气体质量流量控制器哪家好， 没有液体， 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。

2，输入的气体压力必须符合产品的耐压标准， 不能超过该产品要求的较大压力。

3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应， 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，还容易产生危险。

气体质量流量控制器的密封材料如何选择？

质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体，气体质量流量控制器， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明， MFC都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。

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