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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2023-04-22 00:16:34
真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项，希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项：
1、将多级泵运到现场，找平顶座时不必卸下水泵和电机；
2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上，在地脚螺钉附近垫上楔形铁，将顶座垫下约20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥浆之用；
3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度，找平先用水泥浆填充顶座，待水泥浆做先再检查一下水平度；
应用
半导体的目标应用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括：
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔
主要特性和优势
针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，真空泵维修保养，高度更低，便于在任何工厂中安装。
符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。
爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具，安装时不得用锤直接敲击轴承，需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时，真空泵维修，应先检查轴承质量、配合尺寸偏差等是否符合要求。
轴承内圈端面应与轴肩靠紧
轴承采用加热安装时，加热可采用油浴，油温不超过100-120度，轴承油浴时间10-15Min，严禁用火焰直接加热轴承
适合清洁/干燥应用的 Edwards RV 泵的主要优点
的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件，可确保在高流量下，油保持在泵内
的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用，可以安装一个可选的油回收套件，以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂
我们这里提到的真空泵维修是指真空泵腐蚀的维修。真空泵维修的方法之一就是在真空泵表层涂上有机涂层，该方法非常有效。
有关真空泵的工作原理、真空泵价格和真空泵维修等知识就为大家介绍到这里了，如果您还想了解更多有关真空泵的知识的话，就请继续关注我们。
iGX 干泵真空系统
iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了世界上受欢迎的干泵之一，干式真空泵维修，目前已在大多数 的 300mm 工厂中安装了 20，莱宝真空泵维修包，000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，同时包括一套的网络选项， 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 iL/iH 干泵相比）。
基于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。