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分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力，避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高，岛津真空泵维修，造成负荷过大，泵温过高等

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气膜轴承

使用空气膜轴承的涡轮分子泵已有商品出售，因为空气轴承需要在连续不断地供给无颗粒物的干燥的高压空气。这样空气源的故障将会引起金属高速摩擦接触，使轴承瞬间遭到破坏。

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