三轴石英挠性加速度计

加速度是一种用来反映物体在运动过程中的速度变化状态的物理量，其无法直接测量，当前的加速度传感器（加速度计）采用间接测量以及力的平衡等技术来获取物体的加速度。加速度传感器的工作原理基于牛顿第二运动定律:作用于物体上的力等于该物体的质量乘以加速度。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。加速度引起的差动电容变化量由伺服电路中差动电容检测器检测，为其输出为电流，经电流积分器变成输出电压，然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流，此输出电流的大小与输入加速度成正比。英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，后输出电流信号正比于加速度信号。

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产品广泛用于航空航天高精度导航系统、惯性导航、航海定位、飞行姿态控制或地质勘探捷联系统。

石英挠性加速度传感器的性能指标

测量精度高

重复性佳

可靠性高体积小

重量轻宽压供电

功耗低

模拟电信号输出技术指标技术性能量程±60g阈值(分辨率)1×10-5g偏值（K0）＜4mg偏值（K0）温漂＜40μg/℃偏值（K0）年稳定性1mg标度因数（K1）1.2～1.46mA/g 。

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