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爱德华 BOC Edwards g涡轮增压泵

爱德华 BOC G Agilent

爱德华BOC Edwards真空泵型号及参数

EDWARDS爱德华 EM 系列E2M40， E2M80， E2M175， E2M275

EDWARDS爱德华RV 系列RV3，Edwards分子泵机组售后， RV5， RV8， RV12

EDWARDS爱德华EH 系列 EH250， EH500， EH1200， EH2600， EH4200

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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweckamp;#174; 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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爱德华BOC Edwards epx180LE干式真空泵维修

数据：

进气法兰ISO63

出口法兰NW25

噪声lt;59分贝（A）

zui小冷却水流量2升/分钟-1

冷却水温度15-35°C

电力供应200/208 V，50/60 Hz三相

电机额定功率3.0千瓦

重量43.5公斤

EDWARDS EPX爱德华干泵功能和优势：

可兼容的网络 - EPX 系列配有zui终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。

紧凑的占地面积 – 作为可用的zui小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。

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