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- 2023-04-29 03:15:07
净化实验室 -如何选购净化设备:房间格局影响净化效果:空气净化器的进出风口有360度环型设计的,福州净化室,也有单向进出风的,若在产品摆放上不受房间格局限制,则应选择环型进出风设计的产品。需求:根据需要净化的污染物质种类选择空气净化器,HEPA对、悬浮颗粒、病毒有很强的净化功能,催化活性炭对异味、有害气体净化效果较佳。售后服务:净化过滤胆失效后需到厂家更换,所以消费者应该选择售后服务完善的厂家生产的产品。
洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,净化室定制,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,净化室安装,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
为满足净化实验室温湿度要求,宜配备机械空调通风系统,有特殊要求的可增设设计要求,如增设净化要求并按净化要求进行送回(排)风系统设计等。这方面,应重点处理好以下几个问题:1、可以采用带循环风的空调系统。如果涉及化学溶媒,性材料操作和动物实验,风淋净化室,则应采用全排风系统。2、生物安全柜与排风系统连接I级排风比例****,密闭连接。II级A型排风比例30%,可排到房间或设置局部排风罩。B1型排风比例70%,密闭连接。B2型排风比例****,密闭连接。