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- 2023-04-29 10:20:00
检漏步骤为:极限压力、升压率都不合格这种情况通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的较大漏点,检漏步骤为: .1.用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍,会很快发现漏点,这时发现的漏点都较大,然后应立即焊接处理或用封泥封堵,- 旦封堵成功,真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。2.第二遍检漏,检漏仪厂,进行第二遍检漏时速度要较遍慢些, 重点检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。
真空检漏向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入氮气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。极限压力不合格,升压率合格这种情况原因通常出现在粗抽阀到机械泵部分的各个连接管路的焊口及法兰连接或真空泵本身性能。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。