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体积流量的表示方法

对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

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使用质量流量控制器注意事项

使用质量流量控制器有四怕:

怕粉尘,流体系统控制单元价格, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器,流体系统控制单元报价, 造成测量误差,流体系统控制单元, 要求在进气口前加装过滤器;

第二怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;

第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;

第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。

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流体系统

流体系统是流体机械的重要组成部分;在机械工程领域,流体系统是指与一维流体管网相关的元件及流体的集合,流体系统一般包括阀、液体泵(或气体压缩机)、管道、接头、孔和喷嘴等元件,也可能包括一些不规则形状的腔室和通道。在航空领域,典型的流体系统有飞机燃油系统、冷却润滑系统、防冰及除冰系统、发动机滑油系统及冷却系统等,这些系统无一不关乎着飞机及飞行员的的安全 。

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