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- 发布时间
- 2023-05-09 11:38:14
XRD摇摆曲线检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，XRD摇摆曲线检测哪里可以做，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
样品处理
●对于钢材试样，X射线只能穿透微米至十几微米的深度，测试结果实际是这个深度范围的平均应力，试样表面状态对测试结果有直接的影响。要求试样表面光滑，没有污垢、油膜及厚氧化层等。
●由于机加工而在材料表面产生的附加应力层大可达100μm，因此需要对试样表面进行预处理。预处理的方法是利用电化学或化学腐蚀等手段，去除表面存在附加应力层的材料。
●如果实验目的就是为了测试机加工、喷丸、表面处理等工艺之后的表面应力，则不需要上述预处理过程，必须小心保护待测试样的原始表面，不能进行任何磕碰、加工、电化学或化学腐蚀等影响表面应力的操作。
●为测定应力沿层深的分布，可用电解腐蚀的方法进行逐层剥离，然后进行应力测量。或者先用机械法快速剥层至一定深度，XRD摇摆曲线检测测试，再用电解腐蚀法去除机械附加应力层。
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半导体是许多工业整机设备的，普遍应用于计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子等领域。半导体主要由四个组成部分组成：集成电路(约占81%)，光电器件(约占10%)，分立器件(约占6%)，传感器(约占3%)，因此通常将半导体和集成电路等价。集成电路按照产品种类又主要分为四大类：微处理器(约占18%)，存储器(约占23%)，逻辑器件(约占27%)，模拟器件(约占13%)。
近年来，由于美国“卡脖子”的影响，半导体产业收到了越来越多的关注，得益于新能源汽车、物联网、5G等新技术的开发和应用，半导体产业迎来了新的黄金发展期，受到了资本青睐，也促进了行业交流。
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XRD进行定性分析时可以得到哪些有用信息？
X射线反射率（XRR：X-Ray Reflectivity）是一种表面表征技术，是利用X射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析XRR图谱可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。
XRR的特点：
1无损检测
2对样品的结晶状态没有要求，不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试
3 XRR适用于纳米薄膜，要求厚度小于500nm
4 晶面膜，表面粗糙度一般不超过5nm
5 多层膜之间要求有密度差
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