真空等离子清洗机SPV-60适用于面积较大、形状复杂的材料清洗，可搭配双路或多路工艺气体，气体控制稳定，高密度等离子源，保证全方位均匀清洗。单次可处理多片/批次材料，处理效率高。根据行业需求可定制真空等离子流水线设备，全自动工作，减少人力成本。