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- 发布时间
- 2023-10-23 00:24:40
DLC类金刚石涂层的电学性能
DLC薄膜具有优异的电学性能,一般来说,含氢DLC薄膜电阻率比不含氢的DLC薄膜的高,可能是由于氢稳定了薄膜中sp3相的缘故。由于DLC中的sp2相和薄膜的电阻率有直接的关系,因此沉积工艺和离子束的能量都对DLC薄膜层电阻率有着很大的影响。
正是由于DLC涂层的这些性能,可以有效提高工件的耐磨/耐腐蚀性,保护镜面模具不刮花,顺德DLC涂层工艺,以及精密零件的自滑润、干摩擦性。
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DLC涂层是类金刚石涂层。主要有两种方式实现,一种是CVD,化学气相沉积,还有一种是PVD,物理气相沉积,是离子镀,是PVD技术的一种。
DLC一般是黑色的,非常的耐磨、防滑,IP涂层就是离子镀涂层,用来做DLC的也比较多。
类金刚石涂层或简称DLC涂层是一种非晶态膜,基本上可分为含氢类金刚石(a-C:H)涂层和无氢类金刚石涂层两种。含氢DLC涂层中的氢含量在20at.%-50at.%之间,sp3成分小于70%。无氢DLC涂层中常见的是四面体非晶碳(ta-C)膜。ta-C涂层中以sp3键为主,sp3含量一般高于70%。
类金刚石涂层或简称DLC涂层是含有金刚石结构(sp3键)和石墨结构(sp2键)的亚稳非晶态物质,碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。