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- 顶旭（苏州）微控技术有限公司
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- 发布时间
- 2023-10-29 00:55:59
注射泵产品
1 注射泵 DLSP 520 Pro
技术指标LSP02-2B
工作方式 ：注射、拍取、先注射后胜取、无拍取后注射、连续
通道数量： 2
zui大行程 ：140mm
行程分辨率： 0.156um
线速度范围 ：5um/min-130mm/min (液量=线速度X注*器内截面积]
线速度调节分辨率： 5um/min
行程控制精度： 误差E士0.5%行程注zui大行程的30%时》
额定线性推力gt;180N
注*器选择 ：内置主要厂家、主要型号注she器供选择
注*器自定文： 可直接输入注she器内径
流量校正： 通过校正程序获得更为jing确的液量
显示参数选择： 液量、流量或线速度
掉电记忆 ：重新上电后保持掉电前的参数设置
通信接口： RS495
外形尺寸 ：280X250X140(mm)
适用电源 ：AC 196V-240V/40W
工作环境温度： 0°C~40°C
工作环境相对湿魔lt;80%
数显测厚规（千分款）
测量匀胶厚度
量程:0~10mm
精度：0.001mm
公差：≤±0.005mm
观察头：铰链式三目观察头，30°倾斜，瞳距48～75mm
目镜：超大视野目镜 10X/22
无xian远平场消色差物镜：4X/0.1，10X/0.25，20X/0.4，40X/0.65
转化器：四孔转换器
载物台：载物台面积300×268mm，移动范围250×250mm
焦距调节：同轴粗微动调焦机构，SU8模具加工设备，行程24mm
照明系统 ：6V20W卤素灯，亮度可调
滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片
3. SU8模具制备流程
一、备片
从化学品存放区取出清洁的硅片（确保硅片表面无尘）。
匀胶
1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，确保硅片固定在托盘上不动；
将SU8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：SU8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）