连云港微流控光刻机 顶旭

3. SU8模具制备流程

一、备片

从化学品存放区取出清洁的硅片（确保硅片表面无尘）。

匀胶

1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，确保硅片固定在托盘上不动；

将SU8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，微流控光刻机，光刻胶型号：SU8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）

1、简要介绍

PDMS芯片加工平台旨在为PDMS芯片制备提供一套gao效、quan面的解决方案。该平台集成了电子秤、PDMS芯片浇筑器、烘箱、PDMS芯片打孔器、PDMS芯片切割器、PDMS芯片对准器以及PDMS等离子键合机等PDMS芯片加工设备。电子秤确保PDMS材料的jing确配比，为芯片制备提供了可靠的基础。PDMS浇筑器以其zhuan业的设计，使PDMS材料均匀浇筑于模具上，为芯片成型提供了支撑。烘箱提供稳定的温度控制，确保PDMS材料的充分固化。PDMS打孔器和切割器保证了jing准的孔洞和结构制作，提供了更高的加工精度。PDMS对准器则实现了多层结构的jing确对准，增强了制作多层PDMS芯片的能力。而等离子键合机则实现PDMS了的牢固粘合。加工平台的紧凑设计使得普通实验室也可轻松部署，有助于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的研究和应用提供了便捷而强大的支持。

使用方法

该设备操作简单，易于上手，具体操作如下：

一、曝光前准备工作

1、硅片处理：确保待曝光硅片经过匀胶处理，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。

2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。

3、设备检查：仔细检查设备，确保所有部件处于正常工作状态，确保操作环境良好。

二、曝光操作步骤

1、安装硅片：将待曝光硅片平放在设备的载台上，确保位置准确。

2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。

3、设定曝光参数：使用控制面板设置曝光时间和强度，根据具体需求进行调整。

连云港微流控光刻机-顶旭由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。顶旭（苏州）微控技术有限公司是江苏 苏州 ,生物制品的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在顶旭领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创顶旭更加美好的未来。