陶瓷封装激光器波纹管压缩机检漏方法 氦质谱检漏仪设备

任何产品在制作过程中难免会遇到密封不严的情况，某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系，但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及高端仪器中，良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要！市面上有各种检漏仪器，较常见的载气有氮气、氢气、氦气等。

氦气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氢气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。

氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小，容易穿过小洞而进入到管壳内部，所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为1011~10-12cm2/sec的小洞），灵敏度可与放射性检漏方法匹敌，但要比放射性检漏方法简便。

氦检漏常见的有六种氦检方法：

1. 喷氦/喷枪法;真空测漏法是业内经常使用的一种检漏方法, 广泛应用于精密仪器, 真空钎焊, 压力容器等行业；

2. 吸枪法/正压法；氦质谱检漏正压吸枪法主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。

3. 背压法；背压法氦质谱检测优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；

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