真空炉氦质谱检漏仪厂家，真空阀门氦检仪

尽管泄漏检测的主要关注点是环境保护，但另一个因素是与泄漏和资产损失相关的成本。每次泄漏都会使有利可图的材料逸出并且无法回收。这极大地影响了公司的底线。通过高效可靠的泄漏检测系统，可以大大减少或完全消除任何类型的产品损失。

氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏仪是一种专门用于检测氦气的质谱仪，其内部有一套高真空系统，以及一个与其相连的质谱室。外界的气体进入到检漏仪质谱室后，首先会在离子源处被电离，产生离子。气体离子被加速后进入磁场，其路径会被偏转，由于不同的离子荷质比不同，偏转半径也不同。在合适的地方设置一个狭缝，就可以仅让示踪气体——氦气的离子通过并到达收集极。收集极得到的离子流信号和进入检漏仪的氦气量多少，即泄露率的大小成正比。通过测量该信号，就可以测量泄漏率。

需要密封性检测的应用领域非常广，如真空设备（真空镀膜机，真空炉，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力，还有承载液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。 这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

检漏的工作内容，检漏的工作内容就是在设备制造、安装、调试和运行过程中，判断泄漏量是否在允许范围内、检测泄漏率的大小，并查明泄漏点的位置，从而可以进一步找出原因，避免发生因泄漏而导致的故障。

质谱检漏法的原理是利用不同质荷比（m/e）的离子在磁场中受洛伦兹力不同而做圆周运动半径不同的原理，将不同质荷比的离子分开，在相应半径上收集到示踪气体，如果被检件出现泄漏，则会检测到示踪气体离子，再通过相应计算得出漏率大小。氦气在空气中的含量低，又是惰性气体，使其成为了较常用的示踪气体。