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- 顶旭(苏州)微控技术有限公司
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- 发布时间
- 2023-11-13 10:05:42
UV曝光过程
曝光的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 PAC(PhotoActiv 组件)来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性,树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于SU-8是负性光刻胶,这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬,而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数:
SU-8的曝光波长为365nm。
时间取决于层厚和灯的功率。
接触模式很重要,如果没有硬接触,您可能会失去一些分辨率,而使用真空接触,您可能会将晶圆粘在掩模上。
PDMS(聚二硅氧烷)是一种常用于制造微流控芯片和实验室设备的材料。以下是定制PDMS芯片模具的一般步骤:
1.设计芯片:首先,需要设计芯片的布局和结构。这通常涉及到使用计算机辅助设计软件(如AutoCAD或SolidWorks)来创建一个3D模型。
2.制作硅胶模具:设计完成后,需要制作一个硅胶模具。这通常涉及到使用硅胶和模具制作材料(如聚氨酯泡沫)来制作一个与芯片设计相同的模具。
3.制作PDMS芯片:将PDMS材料倒入硅胶模具中,然后将其放入烘箱中进行固化。固化后,可以从模具中取出PDMS芯片。
4.制作通道和孔洞:使用刀片或其他工具在PDMS芯片上切割出所需的通道和孔洞。
5.测试和优化:完成芯片制作后,需要进行测试和优化,以确保其性能和准确性。
需要注意的是,PDMS芯片的定制过程需要一定的技能和经验,因此建议寻求人士的帮助。
PDMS(聚二硅氧烷)芯片模具是一种用于制造微芯片和微流体设备的工具。它由PDMS材料制成,纯硅模具,具有良好的柔韧性和透明性,可以地微小的结构和通道。使用PDMS芯片模具可以快速、经济地制造出高质量的微芯片和微流体设备,这些设备在生物医学、化学、物理和工程等领域有广泛的应用。