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- 2023-11-22 12:22:47
MKS电源维修射频电源RPG-50A GHW-85A GHW-50A GHW-25A GMW-25A
服务品牌：AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。
ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。
温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等