TJ超薄硅片/晶圆/双抛单抛晶圆异形切割微结构加工小孔加工

TJ超薄硅片/晶圆/双抛单抛晶圆异形切割微结构加工小孔加工

    晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主

    晶圆（Wafer）是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。

晶圆是常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大规格（14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等）。

激光切割技术集光学、精密机械、电子技术和计算机技术于一体，于传统方法相比

1、加工速度快；

2、窄切槽（20um-30um），晶圆利用率高；

3、非接触式加工，适合薄基圆；

4、自动化程度高，任意图形切割。目前激光切割技术可以应用于切割硅片、低k材料、发光二极管衬底、微机电系统和薄膜太阳能电池等光电及半导体材料。